产品特点

• 噪音低
• 集成控制系统，可无人值守和远程控制

• 工作范围广，在10Pa~10e5Pa范围内抽速无衰减

典型应用

微电子、半导体、锂电池行业、光伏产业、空间模拟、冶金系统、镀膜、

电浆制程、制程气体抽取、电子加工、生技/制药、化工等行业